集成电路生产需经过薄膜沉积、蚀刻、抛光、减薄、划切和倒装等众多复杂的工艺流程,流程中的任何异常都可能导致晶圆表面缺陷的产生.准确识别圆表面的各种缺陷模式可帮助发现和调整在线制造过程中的异常因素,提高集成电路生产的效率同时也可以降低集成电路生产的废品率避免因大批量晶圆表面缺陷而造成巨大的成本损失。

随着工业4.0的发展，基于机器视觉技术的检测方法被广泛应用于晶圆表面缺陷检测。

深圳嘉恒光电一直致力于图像技术和机器视觉的研发和制造。公司研发的检测设备有晶圆缺陷检测设备、ccd视觉检测设备、光学筛选机、云盘高速检测设备、线圈检测机、吊牌检测机、一键测量仪等。，广泛应用于粉末冶金、车削零件、O型圈、塑料零件、五金、电子元件、紧固件、螺钉螺母等工业产品外观检查。

晶圆缺陷检测设备的检测原理

晶圆缺陷检测设备利用工业相机将检测对象转换成图像信号，再根据像素分布、亮度、颜色等信息转换成数字信号。图像处理系统对这些信号进行各种运算，提取目标的特征(如面积、数量、位置、长度)，然后根据预设的允许范围和其他条件(包括大小、数量等)输出结果。).

晶圆缺陷检测设备与人工检测的比较:全面检查产品外观和尺寸质量，长时间人工目测，眼睛疲劳，产品检测效率和准确率低。用晶圆缺陷检测设备代替人工视觉，可以大大提高生产效率和检测精度，降低人力成本。

“佳恒光电”是中国领先的人工智能设备和人工智能解决方案的服务商，提供整套机器视觉、视觉系统、硅胶丝印检测、视觉软件、遥控器检测等，提供专业一流的人工智能设备与全面的人工智能解决方案。